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滾動:芯源微公布“一種改善方形基板涂膠四角均勻性的配合設(shè)置結(jié)構(gòu)”專利
2025-12-24 13:59:06 來源：和訊網(wǎng)
(資料圖片)
天眼查APP顯示，近日，沈陽芯源微電子設(shè)備股份有限公司申請的“一種改善方形基板涂膠四角均勻性的配合設(shè)置結(jié)構(gòu)”專利公布。 摘要顯示，本發(fā)明屬于半導體設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，具體地說是一種改善方形基板涂膠四角均勻性的配合設(shè)置結(jié)構(gòu)，適用于對方形基板進行涂膠作業(yè)的涂膠單元，包括承片臺驅(qū)動電機、下層環(huán)形承接槽、環(huán)形防水罩、溫濕度控制空調(diào)、上層擋流環(huán)、擬圓承片臺、中層導流環(huán)槽、升降導氣環(huán)及升降驅(qū)動件。本發(fā)明能夠通過盡可能地降低方形基板四角區(qū)域的強流場，以及提高方形基板中心內(nèi)切圓區(qū)域的干燥速度，使內(nèi)切圓區(qū)域的干燥速度盡可能地與方形基板四角區(qū)域同步，從而大幅度提高方形基板的膜厚均勻性并減少風紋和色差，提高方形基板的整體利用率，結(jié)構(gòu)相對簡單，拆裝維護方便。升降驅(qū)動件可帶動升降導氣環(huán)升降，可以方便地根據(jù)不同的工藝對升降導氣環(huán)進行高度調(diào)整。
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